Explore os recursos superiores do Dynamic SIMS para analisar implantes de prótons profundos de baixa dosagem em silício industrialmente relevante.
📢 Palestrante: Orazio Samperi, Universidade de Catania/STMicroelectronics
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Os principais aprendizados incluirão:
- A importância da implantação de prótons: Entenda por que a implantação de prótons é um método crucial para modificar substratos de semicondutores, particularmente no contexto da fabricação de dispositivos de energia e defeitos de engenharia em semicondutores de banda larga.
Perfil de profundidade
- D-SIMS: Revise o papel fundamental da espectrometria de massa de íons secundários dinâmicos para analisar implantes de prótons profundos de baixa dosagem em silício, garantindo a qualidade e o desempenho de dispositivos semicondutores.
- Um novo protocolo D-SIMS: Saiba mais sobre um novo protocolo D-SIMS que permite perfis de profundidade confiáveis de implantes H com concentrações da ordem de 1E16cm-3, excedendo profundidades de 20 μm! O protocolo foi validado através de testes de repetibilidade e comparação com simulações numéricas e perfis elétricos Spreading Resistance Profiling.
Sobre o palestrante
Orazio Samperi, licenciado em Química e mestre em Química de Materiais desde 2021, está atualmente a avançar os seus estudos em Ciência de Materiais e Nanotecnologias através de um doutoramento na Universidade de Catânia, Itália. Sua pesquisa, em colaboração com a STMicroelectronics, concentra-se em técnicas avançadas de implantação de íons para eletrônica de potência baseada em silício e 4H-SiC. Seu trabalho se concentrou principalmente na análise estrutural e elétrica de prótons e vários implantes dopantes nesses materiais. Entre 2022 e 2024, Orazio enriqueceu a sua experiência de investigação como investigador convidado no Centro de Ciência de Materiais e Nanotecnologias da Universidade de Oslo, concentrando-se em SIMS dinâmicos, RBS e técnicas de perfil de profundidade elétrica. Ele é autor de duas publicações e apresentou sua pesquisa nas principais conferências de 2023, incluindo ICSCRM, SIMS Europe e E-MRS.