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IMS 7f-Auto

Instrumento SIMS versátil: Sensibilidade de Detecção de Referência com Alto Rendimento e Automação Total
O IMS 7f-Auto é a versão mais recente da nossa bem-sucedida linha de produtos IMS xf de Espectrômetros de Massa de Íons Secundários (SIMS). Projetado para oferecer análises elementares e isotópicas de alta precisão com maior facilidade de uso e produtividade, ele foi otimizado para aplicações difíceis como, por exemplo, vidro, metais, cerâmica, à base de Si, dispositivos III-V e II-VI, materiais a granel, filmes finos... atendendo aos requisitos da indústria no desenvolvimento de dispositivos eficientes e controle de processo.

  • Visão geral do produto +


    Recursos analíticos fundamentais para a resolução de uma ampla gama de problemas analíticos
    A IMS 7f-Auto oferece inigualáveis recursos de perfilometria em profundidade, com alta resolução de profundidade e alto espectro dinâmico. O espectrômetro de massa de alta transmissão é combinado com duas fontes de íons reativas de alta densidade, O2 e Cs+, fornecendo, assim, alta taxa de remoção e excelentes limites de detecção. Um design óptico exclusivo permite a microscopia direta de íons e a digitalização de imagens da microssonda.

    Maior eficiência de automação e operação
    A IMS 7f-Auto está equipada com uma coluna principal em linha, redesenhada para facilitar e acelerar o ajuste do feixe principal e otimizar a estabilidade da corrente do feixe. Novas rotinas automatizadas minimizam distorções relacionadas ao operador e facilitam o uso. Uma câmara de armazenamento motorizada, com carga/descarga automatizada de suportes de amostra, garante o alto rendimento por meio da análise sequencial e da operação remota.

    Alta reprodutibilidade com alto rendimento
    Graças à sua nova câmara de armazenamento e transferência de amostra motorizada, a IMS 7f-Auto pode analisar várias amostras em cadeia ou no modo remoto. As medições podem ser totalmente autônomas e automatizadas, com rendimento e reprodutibilidade inigualáveis. Pode-se alcançar a reprodutibilidade máxima (DPR < 0,5 %), assim como excelentes limites de detecção, alto rendimento e produtividade (o equipamento pode ser usado 24 horas por dia, com mínima intervenção do operador).

  • Ver Webinars +

    • Dynamic SIMS for Ion Implants: Fundamental Concepts and Applications

      quinta-feira, novembro 13, 2025

      A technical webinar on ion implant use for SIMS quantification and common pitfalls, co-hosted by Loughborough Surface Analysis Ltd and CAMECA.
      ↓ ON DEMAND HERE
      Click here to view
    • SIMS analysis of an oxide thin film with continuous composition gradient

      terça-feira, dezembro 3, 2024

      Explore the application of Dynamic SIMS on thin film analysis with our speaker Joseph Scola, from the University of Paris-Saclay/UVSQ.
      ↓ Duration: 36 minutes
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    • Enhanced Characterization of Very Deep Proton Implants with Dynamic SIMS

      sexta-feira, maio 31, 2024

      Explore the superior capabilities of Dynamic SIMS for analyzing low-dose deep proton implants in industrially relevant silicon with Orazio Samperi, University of Catania/STMicroelectronics Key take aways include: The importance of proton implantation, the pivotal role of Dynamic Secondary Ion Mass Spectrometry for analyzing low-dose deep proton implants in silicon, ensuring quality and performance of semiconductor devices and a new protocol enabling reliable depth profiling of H implants with concentrations in the order of 1E16cm-3, exceeding depths of 20 μm! .
      ↓ Duration: 60 minutes
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    • Advancing High-Efficiency Silicon Solar Cells through Inkjet Printing of Polysilicon Passivating Contacts: Insights from SIMS Analysis - Webinar

      quinta-feira, janeiro 4, 2024

      Australian National University scientists Dr. Sieu Pheng Phang and Ms Jiali Wang report on the use of Dynamic SIMS to characterize inkjet-printed passivating contacts for improved silicon solar cells.
      ↓ Duration: 38 minutes
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    • Optimization of carbon detection limit in Silicon using the raster change method

      quarta-feira, maio 10, 2023

      Seoyoun (Joan) Choi, CAMECA expert application engineer for SIMS, presents applications of the “raster change” dynamic SIMS method for measuring the carbon concentration in silicon samples.
      ↓ Duration: 14 minutes
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    • Lithium Diffusion In Li-Ion Battery Materials Revealed By SIMS

      terça-feira, novembro 15, 2022

      Learn from Dr Naoaki Kuwata, NIMS, Japan, how Secondary Ion Mass Spectrometry can be used to accurately measure lithium diffusion coefficients in Li-based thin films, supporting Li-ion battery material optimization..
      ↓ Duration: 18 minutes
      Click here to view

  • Veja o que a IMS 7f-Auto pode fazer +

  • Documentação para download +

  • Vídeo +

    • IMS 7f-Auto Automation
      IMS 7f-Auto video

      See the IMS 7f-Auto in action in our last video: high analytical performance with full automation & ease of use - The leader Secondary Ion Mass Spectrometry sensitivity and throughput. You too can get your data overnight!

  • Publicações Científicas +


    Uma planilha de Excel com uma compilação de artigos de pesquisa científica usando o IMS xf (IMS 3f, 4f, 5f, 6f, 7f, IMS 7f-Auto, IMS 7f-GEO). Os artigos estão ordenados pelas aplicações principais abaixo e podem ser encontrados facilmente com as funções de busca de palavras do Excel:
    • Materials (materiais)
    • Geosciences (geociências)
    • Nuclears (nucleares)
    Baixe planilhas aqui

    Fale conosco pelo e-mail cameca.info@ametek.com caso não consiga acessar alguns arquivos PDF. Você também é mais que bem-vindo para nos enviar quaisquer referências, pdf e suplementos não relacionados aqui.

  • Links para usuários de IMS ao redor do mundo +

    Several hundred CAMECA IMS 6f, 7f, 7f-Auto and 7f-GEO are installed worldwide, the list below is only a very short extract from our customer list!

    Materials Research Laboratory (MRL) at University of California Santa Barbara, USA
    Widely recognized as one of the top five materials research facilities in the world, the MRL serves as the innovation engine for discoveries in new materials.

    Nanoscale Characterization and Fabrication Laboratory, Virginia Tech, USA
    Operated by the University's Institute for Critical Technology and Applied Science (ICTAS), the Nanoscale Characterization and Fabrication Laboratory serves the needs of researchers from VirginiaTech and from the surrounding industrial community, facilitating research in nanoscale engineering and the environment, fuel cells, paleobiology... The NCFL was one the first lab in the world to be equipped with a CAMECA IMS 7f-GEO.

    Washington University in Saint-Louis (WUSTL), USA
    WUSTL’s Stable Isotope Biogeochemistry Group has been equipped with an IMS 7f-GEO since 2013. Research focuses on micro-scale variations in the C and S isotopic composition of biological and sedimentary materials, biogeochemical interactions between microbes and their environment.

    CalTech Center for Microanalysis, USA
    The Center for Microanalysis at Caltech houses a IMS 7f-GEO and a NanoSIMS 50L, providing expertise for microanalysis of geological, meteoritic and synthetic materials. Research projects carried out at CCM are most varied, ranging from cosmochemistry to experimental studies on climate change, geochronology, in-situ studies of microbial communities, materials science engineering...

    University of Manitoba, Manitoba Regional Materials and Surface Characterization Facility, Canada
    Equipped with a CAMECA IMS 7f and several other instruments for materials characterization, the Manitoba Regional Materials and Surface Characterization Facility provides a unique resource to regional government and industrial researchers and enables world-class research into the chemical, structural and morphological nature of surfaces and bulk materials.

    Helmholtz Zentrum Dresden Rossendorf, Germany
    The CAMECA IMS series instrument in Rossendorf is coupled to an accelerator mass spectrometer at the core of the "Super-SIMS" initiative of the Helmholtz Institute Freiberg for Resource Technology.

    Ioffe Institute, St Petersburg, Russia
    The Ioffe Institute is one of Russia's largest institutions for research in physics and materials. Under leadership from Boris Ber, the Surface Analysis Group applies various IMS microprobes to investigations of coatings, thin films and various semiconductor structures.

    University of Edinburgh, Scotland, UK
    The School of Geoscience at University of Edinburgh is one of the largest and most successful groupings of geographers, Earth and environmental scientists in the UK. It is equipped with various CAMECA ion microprobes including an IMS 7f-GEO.

    GEMAC Univ. Versailles, France
    The GEMAC laboratory is equipped with an IMS 7f model used to investigate and develop materials, nanostructures and prototypes of elementary devices for electronics and optoelectronics.

    CIM PACA, Arcsis, France
    Located in the South East of France, a basin for semiconductor production, CIM PACA is the flagship characterization platform of ARCSIS, a consortium that unites world-ranking semiconductor groups including Philips, STMicroelectronics, Texas Instruments etc... as well as several dozens of small and mid-size companies, engineering schools, research laboratories and universities of the region. CIM-PACA is dedicated to the design, test and validation of new semiconductor technologies.

    CC-MEM, Institut Jean Lamour / Ecole des Mines de Nancy, France
    The Centre de Compétences en Microscopie Electronique et Microsondes (CC-MEM) is a collaborative research facility hosted by the Ecole des Mines de Nancy. The IMS 7f delivered in 2009 at CC-MEM contributes to cutting-edge research in material sciences, metallurgy, nanosciences.

    Cinvestav, Seccion de electronica del estado solido, Mexico
    Created in 1961, Cinvestav (Advanced Studies Center of the National Polytechnic Institute of Mexico) is a leader institution in research and postgraduate education in Mexico and the world

  • Programas +

    • SmartPRO

      O novo pacote de software SmartPRO para espectrômetros de massa de íons ultra secundários CAMECA IMS 7f-Auto, IMS Wf e SC combina análise de cadeia e WinCurve em um ambiente perfeitamente integrado e adiciona processamento de dados em tempo real e funcionalidades de automação, melhorando assim a facilidade de uso, a produtividade e a qualidade dos dados .

      Continuar lendo

    • WinCurve dataprocessing sofware
      WinCurve

      Desenvolvido especificamente para os equipamentos SIMS da CAMECA, o WinCurve oferece poderosos recursos de visualização e processamento de dados em um ambiente intuitivo.

      Continuar lendo

    • WinImage Software
      WinImage II

      Desenvolvido especificamente para os equipamentos SIMS da CAMECA, o WinImage II oferece poderosos recursos de visualização, processamento e impressão de imagens no PC-Windows? Ambiente.

      Continuar lendo

    • APM Software
      APM

      A Medição Automatizada de Partículas (APM) é a ferramenta de software da CAMECA que permite rápida varredura de milhões de partículas, detecção de partículas e caracterização isotópica.

      Continuar lendo

  • Kits de upgrade +

    Específico para usuários de IMS 6f: Estenda a vida útil do seu instrumento com o nosso programa de revisão geral do IMS 6f:
    Os instrumentos de microssondas iônicas IMS 6f são robustos, mas são antigos e seus componentes eletrônicos estão se tornando obsoletos. Para minimizar o risco de inatividade prolongada e não programada, a CAMECA oferece um programa de revisão geral para o IMS 6f que o atualiza completamente com novos sistemas eletrônicos, sistemas de bombeamento e vácuo, hardwares, automação total, software de aquisição e de processamento de fácil uso, etc.
    Faça o download do folheto Upgrade do IMS 6f-E7 para ver os detalhes dessa atualização e seus benefícios em termos de desempenho, produtividade, facilidade de uso e, claro, tempo de disponibilidade e sustentabilidade.


    Para visualizar as opções de atualização disponíveis para IMS 6f-E7 e 7f, clique em um dos componentes abaixo:
    Automação e software
    Fontes
    Câmara de vácuo
    Câmara de amostras
    Sistema óptico
    Vacuum

    Automação e software

    Automação de PC (7f equipado com estação de trabalho SUN)
    Sistema de automação de PC para substituir o sistema SUN, permite automação completa e operação desacompanhada, melhorando muito o desempenho e o rendimento. Para mais informações, baixe o Folheto de upgrade de automação do PC do IMS 6f.

    Estação pós-tratamento (6f-E7/ 7f)
    Computador PC para processamento de dados off-line (software da CAMECA não incluído).

    Duplicação de controle de mesa (7f com Automação de PC / 6f-E7)
    Controle do instrumento a partir de uma sala de operação. Garante um conforto operacional otimizado quando o laboratório é dividido em duas partes.

    Licença do Software APM (Automação de PC / 6f-E7 /7f com Automação de PC)
    Programa automatizado de medição de partículas para triagem rápida de grandes números de partículas e detecção de elementos específicos ou isótopos. Mais informações.

    Licença do Software WinCurve (off-line) (7f / 6f-E7)
    Fornece poderosa capacidade de processamento de dados e gráficos SIMS. Mais informações.

    Licença do Software WinImage II (off-line) (7f / 6f-E7)
    Fornece poderosa capacidade de processamento de imagens SIMS. Mais informações.

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    Fontes

    Isolamento de fonte de íons Cs (7f com Automação de PC)
    Isolamento e bombeamento da fonte de microfeixe de césio.

    Aceleração/desaceleração duo (7f com Automação de PC)
    Sistema de energia iônica primária baixa para a fonte de duoplasmatron.

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    Câmara de vácuo

    Upgrade da câmara de armazenamento (7f com Automação de PC / 6f-E7)
    Câmara de armazenamento manual com o bloqueio de carga projetado para armazenar até seis suportes de amostra sob alto vácuo. Garante melhorias substanciais de taxa de transferência para aplicações que dependem das melhores condições possíveis de UHV. 

    Topo da página

    Câmara de amostras

    Movimento-Z (7f com Automação de PC / 6f-E7)
    Ajuste manual do eixo Z para a fase de amostra.

    Upgrade do turbospectro (7f com Automação de PC / 6f-E7)
    Bombas turbomoleculares para o espectrômetro de massa (para substituir as bombas de íons existentes, otimizar a velocidade de bombeamento no espectrômetro de massas e melhorar a sensibilidade de abundância ao usar inundação de oxigênio).

    Câmera de Vídeo Digital (7f com Automação de PC / 6f-E7)
    Câmera numérica e sistema LED de ilustração de amostra (luz branca).

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    Sistema óptico secundário

    Pós-aceleração do Detector EM (7f com Automação de PC)
    Pós-aceleração para o detector de multiplicador de elétrons. Aumenta a sensibilidade ao analisar elementos pesados e ao operar o espectrômetro de massa em baixa tensão de extração secundária (<3 kV).

    Vacuum

    Pfeiffer Turbopump 7f
    Peiiffer Turbopump 6fe7