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AKONIS

SIMS totalmente automatizado para medições composicionais na fabricação de semicondutores

A ferramenta AKONIS SIMS preenche uma lacuna crítica nos processos de fabricação de semicondutores, fornecendo alto rendimento, detecção de alta precisão para perfis de implantes, análise de composição e dados interfaciais diretamente na linha de fabricação de semicondutores. AKONIS oferece um altíssimo nível de automação para garantir repetibilidade entre as ferramentas para o controle de processo de nível de fabricação, bem como correspondência de ferramenta a ferramenta.
  • AKONIS: SIMS, excelência levada para a fabricação! +


    Complemento para o IMS Wf/SC Ultra e o SIMS 4550 (quadrupolo SIMS) usado para dar suporte à indústria de semicondutores por meio de laboratórios de caracterização, o AKONIS – com automação completa das rotinas de configuração e aquisição de instrumentos – permite análises rápidas dentro da fábrica sem comprometer a sensibilidade analítica. O AKONIS se beneficia do desenvolvimento recente da tecnologia de coluna iônica EXLIE (Extremely Low Impact Energy) (<150 eV), juntamente com um sistema completo de manuseio de wafer, que inclui um estágio de alta resolução e permite medições em contatos de até 20 μm.

    O capacitador de alto rendimento em N5 e além

    Composição de alta resolução e perfilamento rápido de profundidade de dopante de pilhas multicamadas de SiGe e SiP
    Inigualável nos limites de detecção de contatos de até 20 μm
    Redução de mais de 97% do tempo nos dados de feedback para a linha de processo
    Medição de manta e wafer completo padronizado
    Motor de reconhecimento de padrões acoplado ao estágio interferométrico de alta resolução para uma precisão de posição < 2 μm
    Criação intuitiva de receita com base em banco de dados de material exclusivo
    Certificado SEMI (S2/S8, E4, E5, E39, E84...)
    Baixo custo de propriedade
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